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介 紹
MHI高精密玻璃基板傳送裝置,目前運用於TFT LCD設備。

規 格
  • G6 Robot 
  • G7.5 Robot
目前在台應用於 YAC G6 與 G7.5 乾蝕刻機之真空手臂。
亮雲提供G6 與G7.5 Robot 專業維修保養及拆裝的服務。