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介 紹
Y.A.C Co..Ltd.: http://www.yac.co.jp/

乾蝕刻機
(Dry Etcher)廣泛運用於 TFT LCDLTPS前段製程。

規 格
  • 目前在台量產 - G3.5 / G4 / G4.5 / G5 / G5.5 / G6 / G7.5 /G8.6 乾蝕刻機。
  • 機台所有零件的販售。
  • 零件的維修服務 – RF Generator,Matching Box,Chiller,Gate Valve,Chiller,Vacuum Robot。
  • 機台現場的維修服務。
  • 機台軟體/硬體改造需求。