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介 紹
YAC Solar Texture Tool設備廣泛運用於太陽能廠Wafer 表面Texture製程

規 格
  • 目前在台應用機種 P-Mono 6TEX
  • 可應用於不同種類的Wafer:
          1. Single Crystal Wafer Texture: Pre Clean > Alkali Texture
               2. Polycrystal Wafer Texture: Pre Clean > Acid Texture
  • 利用自動傳送卡匣快速生產: 200 wfs/hr
  • 機台現場維修服務。
  • 機台零件報價與販售。
  • 機台零件維修服務。
  • 機台軟體/ 硬體改造需求。