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介 紹
本公司針對真空系統所使用各廠牌及型式之閥門皆提供相關維修服務。為提升維修品質所有閥門組裝皆在潔淨室進行。完修後檢測除一般動作測試及He測漏外;並針對壓力控制用途之閥門設有相關治具(MFC&PUMP&腔體)於維修後進行實際控壓測試;以減少上機後再發生問題之機率。

規 格
維修閥門:
  • Pendulum Valve
  • Butterfly Valve
  • Gate Valve
  • Angle Valve
  • APC Valve
維修廠牌:
  •  VAT, SMC, NC, MDC, MKS, CKD…等等