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介 紹
 AMAT SemiTool Spindle Motor OH

規 格
 *CMP Spindle OH

 *AMAT SemiTool 機台Spindle Motor

*型號:  220T0059-502USM

*製程:  Wafer Back Side Clean

*物件目的旋轉帶動晶圓, 進行晶背清洗

*客群: UMC