首頁 > 營業項目 > 新技術開發 > 水蒸氣二流體
介 紹
  • 利用水蒸氣二流體產生出氣蝕震波做清潔
  • 可用於殘膠、光阻、微粒去除等洗淨製程
  • ●可藉由水蒸氣與水的混合比例調整洗淨能力

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