首頁 > 營業項目 > 新技術開發 > 靜電吸盤(E-Chuck)再生
介 紹

 

  • ● AMATTELLAMULVACNovellusMattsonSPP 各廠牌ESC / E chuck再生。
  • ● 陶瓷熔射、陶瓷盤、Silicon Rubber更換/重新貼合、表粗度、平面度整修
  • ● He leakParticleChuck/De-ChuckDepo-Rate問題改善

 


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