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ROBOT
  1. ROBOT O/H。
  2. ROBOT 檢修。  
  3. ROBOT TEACHING。
  4. ROBOT 組立後的精度調整及測試作業。
VALVE
本公司針對真空系統所使用各廠牌及型式之閥門皆提供相關維修服務。為提升維修品質所有閥門組裝皆在潔淨室進行。完修後檢測除一般動作測試及He測漏外;並針對壓力控制用途之閥門設有相關治具(MFC&PUMP&腔體)於維修後進行實際控壓測試;以減少上機後再發生問題之機率。
單點陽極
陽極處理廣泛運用於半導體及LCD的主要製程機台。對於 LCD大世代機台之陽極零件若是發生局部陽極膜損傷,往往需要將整個零件拆出並重新鍍膜。本公司針對此種局部陽極損傷特別引進相關修補技術;可對大型陽極零件進行現地局部修補。將可大大減少復機時間及重新鍍膜之成本。
CHILLER
本公司除代理日本MIURA之chiller外;對於各廠牌運用於半導體及LCD製程之chiller均有豐富的維修經驗與實績。
提供抗凍液新品銷售服務
RF / Matching
提供RF/Matching Box維修、改善升級、改造等服務。
HEATER
 各式加熱器 , 電器溫控器 ,絕緣膠帶販售及加熱器效能改善技術服務提供
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