首頁 > 營業項目 > 新技術開發
水蒸氣二流體洗淨
  • ●利用水蒸氣二流體產生出的氣蝕震波做清潔。
  • ●純水清洗(並可透過調整水蒸氣與水的混合比例調整洗淨強度)
  • 可用於殘膠、光阻、微粒去除、多孔材料等清洗製程
微氣泡淨水
  • 微氣泡(Nano/Micro bubbles)能長時間滯留於水中,具有高傳氧效率和快速增氧的特性。
  • ●專利機構設計,機台能產生大量帶負電荷微氣泡,加速水體淨化。
  • ●可應用於水域淨化、養殖業、農業灌溉及汙水處理等領域。

 


TSK & Disco 工作盤維修
  • TSK UF200/UF3000、TEL P8/P12 各廠牌針測機工作盤整修。
  • 表面重新鍍金/鍍鎳
  • ●真空吸力、電阻值、平面度改善。
靜電吸盤(E-Chuck)再生

 

  • ● AMATTELLAMULVACNovellusMattsonSPP 各廠牌ESC / E chuck再生。
  • ● 陶瓷熔射、陶瓷盤、Silicon Rubber更換/重新貼合、表粗度、平面度整修
  • ● He leakParticleChuck/De-ChuckDepo-Rate問題改善

 

1